80年代：从芯片开始到国防工业 第六章 光刻机

第二天，阳光透过窗子洒在刘老的办公桌上，映照出那份尚未被翻开的文件袋。

王泽站在办公桌前，目光落在刘老的脸上，等待着他的回应。

刘老的眼神从文件袋上抬起，与王泽对视了片刻，然后缓缓说道：“你愿意去电子研究所么？”

王泽没有直接回答，而是将手中的文件袋推到刘老面前，“所长，您先看看这份文件。”

刘老皱着眉头，心中有些不悦，但他知道王泽一向不会无缘无故地给他带来麻烦。

他伸手接过文件袋，随手翻看了起来。

文件袋中的内容不多，只有一份薄薄的文件，上面印着《一种微型晶体管计算机以及i光线365波段光刻机的原理和制造方法》的标题。

刘老的眼睛瞬间紧缩了起来，这个标题对于他来说，意味着太多的可能性。

他开始认真阅读这份文件，每一个字、每一个公式、每一幅图纸都仔细查看。

时间在他的阅读中悄然流逝，两个小时后，他才放下了手中的文件。

刘老的眼中闪过一丝震撼和凝重之色，这份文件中所描述的微型芯片技术，以及未来智能计算机时代的蓝图，让他心潮澎湃。

他是电子计算机专业的权威，对于这些前沿技术的发展有着深刻的理解。尽管这份文件中的技术还停留在纸面描述的阶段，但刘老能够感觉到，这将会是未来科技发展的一个重要方向。

他再次看向王泽，眼神中带着一丝询问：“投影式光刻机？在拇指大小的芯片上集成数以十万计的晶体管？”

王泽点了点头，他的声音平静而坚定：“是的，所长。这份文件中的技术，虽然现在还很初级，不如国外最先进的步进式。如果我们能够掌握并发展这项技术，未来我们的计算机将会变得更小、更快、更强大。”

80年上半叶刚刚突破微米阶段，365纳米的光刻机还是很能打的，到90年也不过时。

刘老沉默了片刻，他知道王泽说的是对的。这份文件中的技术，如果能够成功实现，将会引领一场科技地震。

他深吸了一口气，然后缓缓吐出，他的眼神变得更加坚定：“好，我会支持你去研究这项技术的。”王泽的脸上露出了一丝微笑，他知道刘老是真心支持他的。

“但是，所长，我们需要做更多的研究。”王泽说道，“这项技术如果真的如文件中所说那样先进，那么我们面临的挑战也会非常大。”

刘老沉默了片刻，然后坚定地点了点头：“你说得对，我们需要组建一个团队，专门研究这项技术。这不仅是我们的机会，也是国家的机会。”

刘老还是有些犹豫，“王泽，虽然你的报告的确很吸引人，也很有前瞻性，不过这种光刻机好像连鹰酱都没有研发出来吧？”

在这个时代，华夏一直是处于追赶者的角色。

而鹰酱都没有研发出来的东西，许多人都会下意识觉得，鹰酱都研发不出来的东西，凭什么我们能研发出来？

哪怕到了2000年以后，照样有很多人，包括科研工作者，心中都是这种想法。

王泽反问道：“所长，鹰酱是人，我们也是人，我们又不比他们少一个脑子，凭什么鹰酱没研发出来的东西，我们就一定研究不出来？”

“难道是他们的智商比我们高？”

“还是说他们的基因比我们先进？”

“都不是！”

“鹰酱，毛熊，只不过是比我们先一步进入工业化社会，并且培养了大量的科研人才，所以他们能发明各种各样先进的科学技术！”

“他以自己在学习阶段超越了许多发达国家的学生为例，强调我们同样有能力创造出先进的科学技术。

在那个决定性的时刻，我深刻认识到，我们华夏民族的能力并不逊色于任何其他民族。西方国家或许在科技发展上领先于我们，但并不意味着他们绝对优于我们。”

“从那一刻起，我就明白我们华夏人不比任何人差！”

“西方国家只是比我们先行一步，但不代表就一定比我们强！”

“就拿这份报告中的投影光刻技术来说，我敢说只要能将投影光刻机研制出来，精度上绝对领先鹰酱、毛熊至少5-10年以上！”

王泽这一番振聋发聩的话语，将刘老深深震惊到了。

是啊！

我们也是人，又没少个脑子，智商不比他们差，凭什么鹰酱研发不出来的东西，我们国内就一定研发不出来？

想到这里，刘老心中有些惭愧，亏他还是接受过现代教育的顶尖学者，心中不知不觉竟然会产生这种想法。

刘老眼中渐渐变得坚定起来，心中一片热血沸腾！

没错！

哪怕外国人做不到的事情，我们华夏人依旧能够做到！

他重新将手中的文件拿起来看了两遍，尤其是光刻机的原理部分，他看的最为仔细认真。

刘老也是电子计算机专业的大能，虽然没有接触过光刻相关的技术，但其实它的原理并不复杂。

光刻技术最早可以追溯到19世纪初，最初由路易斯·达盖尔和贝尔铜匠发明，用于制作地图和钢印版。

对于报告中所描述的技术原理，刘老并没有发现任何不合理之处。

现在，他反而觉得光刻技术，的确有很大的可行性。

虽然对于指甲大小的芯片，集成数以万计个晶体管，他心中还有有些疑问。

但光刻技术能让晶体管变得更小，从原理上来说，的确是可以实现的。

刘老思考了几分钟，咬了咬牙道：“王泽，我支持你的想法，我会亲自给上面打报告，叙述光刻技术的可行性！”

“希望你不会让我失望！”

王泽松了一口气，他在办公室这里等了这么久，就是为了等刘老这一句话。

“您放心吧，我有九成九的把握！”

刘老深深的看了他一眼，告诫道：“王泽，这种话就不要说了，万一项目失败了，你会有麻烦的。”

王泽笑了笑没有说话，他知道刘老是为了他好。

不过作为后世的穿越者，再加上金手指推演的第四代光刻机技术图纸，研发一台90年代的光刻机，还真没有什么难度。

不过是光源问题罢了高压汞灯i光线光源加上几个反射镜达到360纳米的芯片很容易不过是效率问题而已。

用上5年不成问题现。

为什么王泽现在不搞第四代步进式投影光刻机呢？

这就得说说第三代和第四代光刻机的区别了。

第三代投影光刻机，虽然良品率和低成本都有了很大提高，但本质上还是属于1:1光刻。

光源将掩膜版上的电路图案，通过反射镜1:1投射到硅片上面，再通过光线与光刻胶的作用，在硅片上形成真正的电路。

也就是说，掩膜版上的电路图案精度有多高，那么最终生产出来的芯片精度就有多高。

而第四代步进式投影光刻机，改进了光学系统，通过复杂的各种镜片，将掩膜版上的电路图案，等比例缩小照射到硅片上面，大大提高了芯片的制程精度。

然而这也有一个缺点，之前1:1投射的光刻机，光源会直接将整块晶圆都笼罩在其中，所以放置晶圆的工件台都是固定的。

但第四代光刻机，由于电路图案通过光学系统缩小，所以直接照射在晶圆上一小块区域，这就导致放置晶圆的工件台需要不停移动，才能把整片晶圆都利用完。

所以第四代光刻机需要非常精密的步进电机，还有精密的光学精缩系统。

王泽虽然能设计出一款先进的步进电机，但这年头可没有数控机床，想要生产出来只能手工制作各种零件，而且时间也需要很久。

至于光学精缩系统，推演的图纸上倒是有，王泽只要给出相应的尺寸，就能将各种镜片磨出来。

不过有镜片还不行，还需要经过复杂的调试。

这也需要花费非常长的时间。

综合考虑之下，王泽打算先将第三代投影光刻机弄出来，添加一些四代机的技术，然后再利用这种光刻机，生产出一批性能还算过得去的芯片。

像这种第三代投影光刻机，精度完全依赖于掩膜版，而掩膜版理论上精度最高能达到1微。

只是这种掩膜板不好做，另一种行之有效的方法是将掩膜版尺寸增大，进而通过光学透镜系统对掩膜上的电路图样进行等比例缩小并成像到硅片上，从而显著提高芯片制程的精密度。

这样不用那么复杂的镜片系统，只要缩放镜片合格就可以。

为了优化研发过程及降低成本，王泽不采用步进电机，这一决策能够显著降低光刻机的研发和制造难度，同时提升其操作的精确性。他的逻辑是，移动式工作台虽具备灵活性，但制造起来极为复杂；相对而言，固定式工作台则在设计和制造方面更加简单易行。

不过有了推演的完整技术图纸，王泽也并不担心失败。

前期最重要的还是将芯片研制出来，许多东西都能用手工少量生产。

只要能把芯片弄出来，上面就能看到芯片强大的性能，到时候他才能获得大量的资金支持，从而推动华夏迈入半导体时代！