回到苏墨的直播间。
在他为了表明原创的新路线。
陆续放出了十几张设计图。
并讲解了大概的原理之后。
直播间里除了一大堆不明就里的吃瓜群众之外。
还有许多将信将疑的业内人士。
并且,仍有人压根不信国内能研究出崭新的技术路线。
在直播间里大力反驳起来。
其中,又以先前那位专业人士语气最为激烈:
“别搞笑了!
你这图纸忽悠忽悠不懂的外行人也就算了。
内行的谁不在看笑话?
要想超过EUV光刻机?
就凭你这波长1064nm的激光?
你拿头来超啊?!!
作为一名芯片设计专家。
我很负责的告诉大家。
这所谓的崭新设计路线。
完全就是个骗局!
大家千万不要被他给骗了!”
谁料,苏墨听到这番论述后。
却是哈哈大笑:
“这位兄弟说的可真是太对了。
我们都知道。
波长越短,制程越先进。
13.5nm的极紫外光EUV光刻机。
就是比193nm的深紫外光DUV光刻机牛逼!
但这也不是绝对的。
正如我这张设计图上所采用的新技术。
使用的是1064nm的激光。
但这个激光却是用来操控储存环内的电子束。
利用电子束绕环一整圈形成的精细微结构。
也就是微聚束。
这才是最后得到的光源。
它的波长完全能够覆盖极紫外光的波段。
所以才能用来充当极紫外光的替代品。
我这套技术。
不需要用复杂的手段来得到极紫外光。
只需要建设好相应的储存环。
便可以达到同样的效果。
所以这才是迥异于西方的崭新方法。
是能绕开他们核心专利的技术路线。
仅凭这套设计图。
国内就能在最短的时间内上马EUV光刻项目。
彻底打破国外对我们的垄断!”
听到苏墨的讲解。
观众们顿时变得无比兴奋。
许多粉丝都在直播间里高呼“墨仔牛逼”。
可那位自称芯片专家的网友。
却仍旧不遗余力的耻笑道:
“就算你有设计图又能怎样?
你的微缩投影光学系统呢?
你的多层膜制备设备呢?
你的非球面镜加工工艺呢?
你什么周边设备和技术都没有。
光靠全套的设计图。
还想造出光刻机?
还想打破国外垄断?
开什么玩笑?
做你的春秋大梦去吧!!”
面对这无情的嘲讽。
苏墨尚未来得及反驳。
直播间里却突然划过一连串的弹幕:
“虽然我们向来被人瞧不起。
但有几个误区不得不加以澄清。
首先就是所谓的微缩投影光学系统。
这套系统的技术难题。
国内已经彻底攻克。
没造出来是因为没有需求。”
“第二,针对多层膜制备技术。
半导体研究所下属的光机所。
已经掌握了相关技术。
相应的设备虽没研发。
有设计图的情况下。
最多半年内就能彻底解决。”
“第三,加工非球面镜需要超精密机床。
以及高精度检测装置。
这两点涉及到高端制造。
虽然对我们来说确实挺困难的。
但很可惜的是。
国外的非球面镜已经快逼近物理极限。
哪怕我们放慢脚步追赶。
也要不了多长时间就能赶上。”
“最后,还有一些你没说的东西。
比如说精密工件台技术。
反射式掩膜技术。
抗蚀剂技术等。
看起来我们和国外仍然存在很大差距。
但大家始终都在不断努力。
并没有因为差距过大就选择了放弃。
而只要有了最关键的设计图。
验证了全新技术路线的可行性。
那么就算是动员整个半导体研究所的力量。
三年之内,也一定能生产出最先进的光刻机!
这便是我们夏国芯片人的底气!”
看到这些弹幕内容。
那位芯片专家立刻当场反击道:
“动员半导体研究所的力量?
你以为你是谁?
半导体研究所的徐所长吗?
开玩笑也该有个限度!”
“不巧的是,老头子正是你所说的徐所长。
虽然上面那些话都是让所里的小伙子打出来的。
但内容全都是我说的!
我以华科院院士和半导体研究所所长的身份。
对以上所说的内容作保。
你还有什么疑问吗?
芯片专家?”
看到这行弹幕,网友们瞬间为之哗然。
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