极紫外光刻(ExtremeUltra-violet),常称作EUV光刻,它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
目前为河兰阿斯麦尔公司独有,是5nmCPU芯片的唯一生产设备垄断了全球90%的光刻机市场。
这种设备也不是一个国家能造出来的,集合了英特尔,IBM,索尼,蔡司,佳能,三星....所有顶尖的科技企业的零部件提供下,花费了50多亿美金,耗时10年才研发成功。
其中的光源和精度控制难度极大,相当于在一粒米上刻画出10万个汉字!
前面华为的芯片事件就是因为受制于这种高端光刻机的出口限制....
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